２０１０年第１８卷 合成化学 Ｖｏ１．１８，２０１０ 第３期，３６５—３６７ Ｃｈｉｎｅｓｅ Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ Ｎｏ．３，３６５—３６７ 研究简报・ 电解四甲基碳酸氢铵制备四甲基氢氧化铵 曾庆云，任保增，李宪民，蒲彦锋 （郑州大学化工与能源学院，河南郑州４５０００１） 摘要：以四甲基碳酸氢铵为原料，钛基二氧化钌为阳极，不锈钢为阴极，在Ｈ型电解槽中恒电流密度电解合成 四甲基氢氧化铵，主要考察了合成工艺中离子交换膜种类、原料浓度、电解温度和电流密度对电流效率的影响。 研究结果表明，当采用旭化成Ｆ４４０３Ｄ为阳离子交换膜，在四甲基碳酸氢铵浓度为１．４１ ｍｏｌ・Ｌ～，电解液温度 ４Ｏ℃一６０ ，电流密度７９２ Ａ・ｎｌ 的条件下，电流效率可达８３．５％。 关键词：四甲基碳酸氢铵；四甲基氢氧化铵；电化学；电船 中图分类号：０４６４．５ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００５－１５１１（２０１０）０３－０３６５－０３ Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ｔｅｔｒａｍｅ ，ｔ ｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ Ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ ｂｙ Ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｚｉｎｇ Ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ Ｂｉｃａｒｂｏｎａｔｅ ＺＥＮＧ Ｑｉｎｇ—ｙｕｎ， ＲＥＮ Ｂａｏ－ｚｅｎｇ，ＬＩ Ｘｉａｎ—ｍｉｎ， ＰＵ Ｙａｎ—ｆｅｎｇ （Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｃａｌ ａｎｄ Ｅｎｅｒｇｙ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｚｈｅｎｇｚｈｏｕ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｚｈｅｎｇｚｈｏｕ ４５０００１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅ ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｉｃ ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ ｏｆ ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙＩａｍｍｏｎｉｕｍ ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ ｉｎ ａｎ Ｈ ｔｙｐｅ ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｉｃ ｃｅｌｌ ｕｎｄｅｒ ａ ｃｏｎｓｔａｎｔ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｗａｓ ｓｔｕｄｉｅｄ，ｂｙ ｕｓｉｎｇ ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ ｂｉｃａｒｂｏｎａｔｅ ａｓ ｒａｗ ｍａ— ｔｅｒｉａｌ，Ｔｉ ｓｕｐｐｏｒｔｅｄ ｒｕｔｈｅｎｉｕｍ ｄｉｏｘｉｄｅ ａｓ ａｎｏｄｅ ａｎｄ ｓｔａｉｎｌｅｓｓ ｓｔｅｅｌ ａｓ ｃａｔｈｏｄｅ．Ｔｈｅ ｅｆｆｅｃｔｓ ｏｆ ｉｏｎ ｅｘ— ｃｈａｎｇｅ ｍｅｍｂｒａｎｅ，ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ ｂｉｃａｒｂｏｎａｔｅ，ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｏｆ ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｅ ａｎｄ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｏｎ ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｏｆ ｔｈｅ ｐｒｏｃｅｓｓ ｆｏｒ ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ ｗｅｒｅ ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．Ｔｈｅ ｒｅｓｒｈｓ ｓｈｏｗｅｄ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｃｕｒｒｅｎｔ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ｗａｓ ｕｐ ｔｏ ８３．５％ｕｎｄｅｒ ｏｐｔｉｍａｌ ｏｐｅｒａｔｉｎｇ ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ：Ａｃｉｐｌｅｓ－ Ｆ４４０３Ｄ ｃａｔｉｏｎ ｅｘｃｈａｎｇｅ ｍｅｍｂｒａｎｅ，ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ ｂｉｃａｒｂｏｎａｔｅ １．４１ ｍｏｌ・ Ｌ～，ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ４０℃一６０ ｏＣ，ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ７９２ Ａ・ｍ～． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ ｂｉｃａｒｂｏｎａｔｅ；ｔｅｔｒａｍｅｔｈｙｌａｍｍｏｎｉｕｍ ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ；ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｓｔｒｙ； ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｓｉｓ 四甲基氢氧化铵（ＴＭＡＨ）又称氢氧化四甲基 片蚀刻剂 】，ＣＭＰ过程超纯清洗剂，同时也是液 铵，是一种碱性相当于苛性碱的有机碱，它在工业 晶显示器中的显像液。目前ＴＭＡＨ的生产方法 领域有着广泛的用途，如用于有机硅系列产品合 主要有氧化银法、离子交换树脂法、碱置换法、离 成中的催化剂，聚脂类聚合、纺织行业、塑料制品 子膜电解法等…。由于传统制取ＴＭＡＨ的方法 行业、皮革行业等 ¨。电子级ＴＭＡＨ在电子行业 具有成本高和杂质离子含量高等缺陷，从上世纪 中广泛用作丌一ＬＣＤ［ ，ＩＣ正胶显影剂 引，硅 ８Ｏ年代以来，人们 川开始用电解法制备 收稿日期：２０１０－０１－０６ 基金项目：河南省重大科技攻关项目资助（０９２１０１２１０２００，０９２１０１２１０２０１）；教育部郑州大学“２ｌ１”工程资助项目 作者简介：曾庆云（１９８４一），女，汉族，河南信阳人，硕士研究生。主要从事绿色过程工程与清洁生产技术的研究。 通讯联系人：任保增．博士，教授，Ｅ．ｍａｉｌ：ｒｅｎｂｚ＠ｚｚｕ．ｅｄｕ．ｃｎ －－——３６６．－—— 合成化学 Ｖｏ１．１８，２０１０ ＴＭＡＨ。电解法主要是以四甲基铵盐为电解原 料，在含有离子交换膜的电解槽中电解获得 ＴＭＡＨ。 本文以四甲基碳酸氢铵（１）为电解原料，采 用恒电流密度法电解合成ＴＭＡＨ。 １实验部分 将阳离子交换膜在０．５ ｔｏｏｌ・Ｌ 硫酸溶液中 浸泡８ ｈ，用去离子水漂洗，然后在３％ＴＭＡＨ溶 液中浸泡一昼夜，用去离子水洗净，待用 Ｊ。 在聚丙烯材质的Ｈ型双极室电解槽中，以钛 基二氧化钌为阳极（菱形网孔，开孔率５０％）， ３０４不锈钢为阴极（表面钻小孔，开孔率２４．６％）， 阳极室装有ｃ（１）为１ ｔｏｏｌ・Ｌ～一４ ｔｏｏｌ・Ｌ 的水 溶液２００ ｍＬ，阴极室装有ｃ（＂ＥＶＩＡＨ）＝０．３ ｍｏｌ・ Ｌ 卟 Ｈ水溶液２００ ｍＬ，电流密度４００ Ａ・ｒｎ～一 １ ２００ Ａ・ｍ～，电解液温度３Ｏ℃一７Ｏ℃，恒电流 电解。分别考察不同离子膜类型，阳极液浓度 ［ｃ（１）］，电流密度和电解液温度对电流效率及产 品纯度的影响。电解装置见图１。 ２结果与讨论 ２．１ 电解原理 电解ｌ制备ＴＭＡＨ是利用电解过程中水分 子在阳极失去电子而生成Ｈ 和０ ；Ｈ 与ＨＣＯ； 反应生成ＣＯ：和Ｈ：０，游离出ＴＭＡ ，而阴极室中 的Ｈ ０在阴极上得到电子析出Ｈ：后，游离出 ＯＨ一，在电场力的作用下，ＴＭＡ 在离子膜的选择 渗透作用下到达阴极室，恰好与ＯＨ～结合生成 ＴＭＡＨ；随着通电量的增加，ＴＭＡＨ的浓度逐渐增 大，最终达到预期的浓度。生成的ＴＭＡＨ用标准 盐酸溶液以甲基橙为指示剂滴定。金属杂质离子 Ｍ（Ｍ＝Ｃａ ，Ｋ ，Ｍ ，Ｎａ ）用ＩＣＰ—ＭＳ分析。 ２．２阳离子交换膜的选择 在隔膜电解中，阳离子交换膜的选择很重要， 为了保证获得良好的电流效率和较高纯度的产 品，该膜应该是ＴＭＡ 离子可渗透，而ＨＣＯ；和 ＯＨ一不可渗透的。另外，为了将电阻电压降至最 低，该膜应该具有优良的导电性ｌ９】。 分别以旭化成Ｆ４４０３Ｄ，Ｆ４４０２，Ｆ４６０２和杜 邦Ｎａｉｆｏｎ１１７为阳离子交换膜，电解条件：阳极液ｃ （１）＝２．７ ｔｏｏｌ・Ｌ一，阴极液ｃ（ＴＭＡＨ）＝０．３ ｏｔｏｌ・ 图１ 电解合成ＴＭＡＨ的装置示意图’ Ｆｉｇｕｒｅ １ Ｔｈｅ ｓｅｔ－ｕｐ ｄｉ８ｇ啪ｏｆ ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｉｃ ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｉｎｇ ＴＭＡＨ １．直流稳压电源；２．电流表；３．导气管； ４．水银温度计；５．阴极；６．阳极；７．阳离子交换膜； ８．搅拌转子；９．磁力搅拌器；１０．恒温水浴槽； １１．Ｈ型电解槽；１２．超级恒温水浴槽 表１ 阳离子交换膜对电流效率的影响’ Ｔａｂｌｅ １ Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ ｃａｔｉｏｎ ｅｘｃｈａｎｇｅ ｍｅｍｂｒａｎｅｓ ｏｎ ｃｕｒｒｅｎｔ ｅ￣ｅｉｅｎｅｙ ‘电解条件：阳极液ｃ（１）＝２．７ ｍｏｌ・Ｌ～，阴极液 ｃ（ＴＭＡＨ）＝０．３ ｍｏ］・Ｌ～，电解液温度５０℃，电流 密度７９２ Ａ・ｎｌ 表２ 阳离子交换膜对ｃ（Ｍ）的影响’ Ｔａｂｌｅ ２ Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ ｃａｔｉｏｎ ｅｘｃｈａｎｇｅ ｍｅｍｂｒａｎｅｓ ｏｎ ｃ（Ｍ） 电解条件同表１ Ｌ一，电解液温度５０℃，电流密度７９２ Ａ・ｉｎ一，考 察阳离子交换膜对电流效率和产品纯度的影响， 结果见表１和表２。由表１可见，Ｆ４４０３Ｄ膜可以 得到较高的电流效率，明显优于其它三种膜。从 表２还可以看出，用Ｆ４４０３Ｄ膜电解的产品金属 离子的含量［ｃ（Ｍ）］较低，纯度相对较高。因此 第３期 曾庆云等：电解四甲基碳酸氢铵制备四甲基氢氧化铵 本实验选择Ｆ４４０３Ｄ作阳离子交换膜 ２．３ Ｃ（１）对电流效率的影响 流效率对温度比较敏感，随温度升高电流效率增加 较陕；但当温度超过５０℃时，电流效率有所下降。 这是因为温度升高，离子的迁移速率加快，提高了 Ｆ４４０３Ｄ膜，其余电解条件同２．２，考察Ｃ（１） 对电流效率的影响，实验结果见图２。由图２可 见，电流效率随Ｃ（１）的增大先升高后降低，这是 因为随着ｃ（１）的增大，单位时间内ＴＭＡ 迁移量 电解液的电导率，从而提高电流效率；但在较高的 温度下，阳离子交换膜的孔径变大，导致ＯＨ一反 渗透到阳极室的量增大，从而导致电流效率降低。 增大，单位时间内通向阴极室的ＴＭＡ 随之增加； 但由于磺酸基阳离子膜的亲水性，对阴极室ＯＨ一 的反渗透阻挡性差，随着Ｃ（１）的增大，电解后期 阴极室的Ｃ（ＴＭＡ ）越高，反渗透越强，电流效率 也越低。在ｃ（１）＝１．４１ ｍｏｌ・Ｌ 时电流效率出 现最高值８３．５％，Ｃ（１）在１．２５ ｔｏｏｌ・Ｌ～一１．８ ｏｔｏｌ・Ｌ 都可得到较高的电流效率。 ｃ（１）／ｔｏｏｌ・Ｌ 图２ ｃ（１）对电流效率的影响’ Ｆｉｇｕｒｅ ２ Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ Ｃ（１）ｏｎ ｃｕｒｒｅｎｔ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ‘Ｆ４４０３Ｄ膜，其余电解条件同表１ ＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＪ￣Ｃ 图３ 电解液温度对电流效率的影响‘ Ｆｉｇｕｒｅ ３ Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｉｃ ｌｉｑｕｉｄ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｏｎ ｃｕｒｒｅｎｔ ｅｆｉｆｃｉｅｎｃｙ Ｆ４４０３Ｄ膜，阳极液ｃ（１）＝１．４１ ｔｏｏｌ・Ｌ～， 其余电解条件同图２ ２．４ 电解液温度对电流效率的影响 Ｆ４４０３Ｄ膜，ｃ（１）＝１．４１ ｍｏｌ・Ｌ～，其余电解 条件同２．２，考察电解液温度对电流效率的影响， 结果见图３。由图３可见，电解液温度较低时，电 因此适宜的电解液温度为４０ ｑＣ～６０℃。 ２．５ 电流密度对电流效率的影响 Ｆ４４０３Ｄ膜，ｃ（１）＝１．４１ ｍｏｌ・Ｌ。。，其余电解 条件同２．２，考察电流密度对电流效率的影响，结 果见图４。从图４可以看出，电流效率随电流密 度的增大而减小，这是由于随电流密度的增大，单 位时间内在电极表面析出的气体总量大，在电极 与电解液界面上，由于气泡的生长和附着，形成所 谓“气泡帘”，使电极活性面积减小，造成局部电 流密度增大，电流效率降低。同时在液相，由于电 解气泡的分散，使电解液成为气一液混合体系，因 而真实电导率下降，溶液的欧姆压降和电解槽工 作电压升高，增大了能耗，也造成电流效率降低。 ‘石 岙 芒 竺 ８ Ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ／Ａ・Ｉｎ一 图４ 电流密度对电流效率的影响’ Ｆｉｇｕｒｅ ４ Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ ｃｕｒｒｅｎｔ ｄｅｎｓｉｔｙ ｏｎ ｃｕｒｒｅｎｔ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ ‘Ｆ４４０３Ｄ膜，阳极液ｃ（１）＝１．４１ ｔｏｏｌ・Ｌ～， 其余电解条件同图２ ３结论 在以四甲基碳酸氢铵（１）为原料制备四甲基 氢氧化铵（ＴＭＡＨ）的过程中，以旭化成Ｆ４４０３Ｄ 为阳离子交换膜，阴极液ＴＭＡＨ浓度为０．３ ｍｏｌ・Ｌ～，阳极液１浓度为１．４１ ｔｏｏｌ・Ｌ～，电解 液温度５Ｏ℃，电流密度７９２ Ａ・ｍ～，电流效率可 达８３。５％，金属离子含量小于５ ｐｐｍ。该法工艺 简单，产品纯度高，而且在制备过程中污染少，是 一种绿色清洁的生产方法。 （转至第３７０页） ．－——３７０－－—— 合成化学 Ｖｏ１．１８，２０１０ （Ｃ一０）ｃｍ～；ＭＳ ｍ／ｚ：４７０．８｛［Ｍ＋Ｈ］ ｝。 １９８５． ［３］Ａ Ｍ Ｓａｎｄｆｉｎｅ，Ａ Ｃｈｒｉｓｔｏｐｈｅｒ，Ｇｏｄｏｗｉｎ ｅｔ Ｎ ｔｏ Ｃ ２结果与讨论 ｓｏｌｉｄ ｐｈａｓｅ ｏｒｇａｎｉｃ ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ ｏｆ ｐｅｐｔｉｄｉｅ ａｎｄ ｐｅｐｔｉｄｏ－ ｍｉｍｅｔｉｃ ｄｅｒｉｖａｔｉｖｅｓ ｕｓｉｎｇ ９－ｌｆｕｏｒｅｎｙｌｍｅｔｈｙｌ ｅｓｔｅｒｓ． 本实验采用多肽固相合成法，选用Ｗａｎｇ树 Ｍｉｃｈａｌ ｌｅｂｌ ａｎｄ ｒｉｃｈａｒｄ Ａ Ｈｏｕｇｈｔｅｎ．Ｐｅｐｆｉｄｅｓ：Ｔｈｅ 脂为固相载体，以Ｆｍｏｃ一为 一氨基保护基，ＨＢＴＵ— ｗａｖｅ ｏｆｔｈｅ ｆｕｔｕｒｅ［Ｊ］．Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｐｅｐｆｉｄｅ ｅＳｅｉｅｔｙ，２００１： ＨＯＢＴ为缩合剂，合成了丙戊酰酪氨酸二肽Ｔｙｒ— ２７９—２８０． Ｔｙｒ—ＶＰＡ，粗产率８６．７％，粗产物用ＲＰ．ＨＰＬＣ进 ［４］ Ａｎｎｅ Ｐ Ｌ．Ｂｌｏａｃｔｉｖｅ ｐｅｐｆｉｄｅｓ ｄｅｒｉｖｅｄ ｆｒｏｍ ｂｏｃｉｎｅ 行制备。实验中，为了增加产率和缩短反应时间， ｗｈｅｙ ｐｒｏｔｅｉｎｓ：ｏｐｉｏｉｄ ａｎｄ ａｃｅ—ｉｎｈｉｂｉｔｏｒｙ ｐｅｐｔｉｄｅｓ 可以延长脱Ｆｍｏｃ．保护和缩合反应时间，使每次 ［Ｊ］．Ｔｒｅｎｄｓ ｉｎ Ｆ０ｏｄ Ｓｃｉｅｎｃｅ＆Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，２０００，１１ 洗涤时间减少至１ ｍｉｎ。 （９一１０）：３４７—３５６． 不同的氨基酸保护基不同，需要选择不同的 ［５］Ｊｏｈｎｓｔｏｎ Ｊ Ｉ，Ｆｒａｎｚ Ｖ Ｌ．Ｂｅｎｉｎ—ａｎｇｌｏｔｅｎｓｉｎ ｓｙｓｔｅｍ：ａ ｄｕａｌ ｔｉｓｓｕｅ ａｎｄ ｈｏｒｍｏｎａｌ ｓｙｓｔｅｎ ｆｏｒ ｃａｒｄｉｏｖａｓｃｕｌａｒ ｃｏｎ－ 脱侧链和树脂切割方法，２－ＶＰＡ的树脂切割试剂 为ＴＦＡ／三异丙基硅烷／水混合溶液。酪氨酸是疏 ｔｒｏｌ［Ｊ］．Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆｈｙｐｅｒｔｅｎｓｉｏｎ，１９９２，１０：１３－２６． ［６］ ｗｙ、ｒｒａｔｔ Ｍ Ｊ，Ｐａｔｃｈｅｎ Ａ Ａ．Ｒｅｃｅｎｔ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｓ ｉｎ 水性氨基酸，滤人冰乙醚之后不出现沉淀，可以直 ｔｈｅ ｄｅｓｉｇｎ ｏｆ ａｎｇｌｏｔｅｎｓｉｎ ｃｏｎｖｅｒｔｉｎｇ ｅｎｚｙｍｅ ｉｎｈｉｂｉｔｏｍ 接将冰乙醚旋蒸干，用甲醇溶解后进行反相 ［Ｊ］．Ｍｅｄｉｃｉｎａｌ ｒｅｓｅａｒｃｈ ｒｅｖｉｅｗｓ，１９８５，５：４８３—５３１． ＨＰＬＣ纯化。 ［７］Ｍｏｉｒｇｌｗａ Ａ，Ｋｉｔａｂａｔａｋｅ Ａ，Ｆｕｊｉｍｏｔｏ Ｙ，ｅｔ Ａｎｇｉｏ－ 本方法反应条件温和，收率较高。 ｔｅｎｓｉｎ ｃｏｎｖｅｒｔｉｎｇ ｅｎｚｙｍｅ—ｉｎｈｉｂｉｔｏｒｙ ｔｉｒｔｅｒｐｅｎｅｓ ｆｒｏｍ Ｇ ｌｕｃｉｄｕｍ［Ｊ］．Ｃｈｅｍｉｃａｌ＆ｐｈａｒｍａｅｅｕｔｉｌａ ｂｕｌｉｅｔｉｎ， 参考文献 １９８６．３４：３０２５—３０２８． ［８］罗恒，刘明忠，黄和勇，等．丙戊酸钠抑制肺癌细胞 ［１］霍长虹，赵冬梅，张雅芳．组合化学中的固相合成 株Ａ５４９增殖的研究［Ｊ］．同济大学学报（医药版）， 法［Ｊ］．中国药物化学杂志，１９９８，８（３）：２２８—２３４． ２００９，３０（２）：３８—４３． ［２］黄惟德，陈常庆．多肽合成［Ｍ］．北京：科学出版社， （上接第３６７页） 参考文献 朱小晶，陈银生，张新胜．四甲基氢氧化铵的制备与 ｔｅｒｎａｒｙ ａｍｍｏｎｉｕｍ ｈｙｄｒｏｘｉｄｅｓ ｂｙ ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｓｉｓ［Ｐ］．ＵＳ ４ 提纯综述［Ｊ］．江苏化工，２００３，３１（５）：２０—２３． ５７８ １６１，１９８６． ［２］ Ｈｉｒｏｓｈｉ Ｓｕｇａｗａｒａ，Ｈｉｒｏｍｉ Ｈｅｍｒｍ．Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ ［６］Ａｏｙａｍａ．Ｍｅｔｈｏｄ ｏｆｒ ｐｒｅｐａｉｒｎｇ ａｑｕｅｏｕｓ ｑｕａｔｅｒｎａｒｙ ａｍ． ＴＭＡＨ ｅｒｃｌａｍａｔｉｏｎ ｉｎ［ＳＩ／ＬＣＤ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ［Ｊ］． ｍｏｎｉｕｍ ｈｙｄｒｏｘｉｄｅ ｓｏｌｕｔｉｏｎ［Ｐ］．ＵＳ ５ ３９３ ３８６，ｌ９９５． Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｐｕｒｅ Ｗａｔｅｒ ａｎｄ Ｃｈｅｍｉｃａｌｓ Ｃｏｎｆｅｒ－ ［７］刘雪莲．四甲基氢氧化铵绿色合成研究［Ｄ］．郑州： ｅｎｃｅ，１９９９：２９５—３０８． 郑州大学，２００６． ［３］ 穆启道．超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技 ［８］ 王宏葛．电子级四甲基氢氧化铵和原料的分析方法 术［Ｊ］．化学试剂，２００２，２４（３）：１４２—１４５． 及制备［Ｄ］．郑州：郑州大学，２００７． ［４］ Ｋａｌｐａｔｈｙ Ｂ Ｓａｕｎｄｒａ，Ａｔｏｍ Ｖｉｊａｙ Ｋｕｍａｒ，Ｇｎａｓｈ Ｓｕｂ・ ［９］甘永平，马淳安，黄辉，等．电解法制备高纯四甲基 ｒａｍａｎｉａｎ．Ｓｍｏｏｔｈ ｅｔｃｈｉｎｇ ｏｆ ｓｉｌｉｃｏｎ ｕｓｉｎｇ ＴＭＡＨ ａｎｄ 氢氧化铵的研究［Ｊ］．精细化工，２０００，１７（增）：６９— ｉｓｏｐｍｐｙｌ ａｌｃｏｈｏｌ ｆｏｒ ＭＥＭＳ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ［Ｊ］．Ｍｉｃｒｏ－ ７１． ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，２００５，７７（３－４）：２３０—２４１． ［１０］Ｆ・安多尔法托．氢氧化四甲基铵的合成［Ｐ］．ＣＮ ［５］ Ｂｕｏｎｏｍｏ Ｆｒａｎｅｏ，Ｂｅｌａｓｉｓ．Ｐｒｏｃｅｓｓ ｆｏｒ ｐｒｅｐａｒｉｎｇ ｑｕａ－ １ ３１２ ４００Ａ．２ｏ０１．
