方块电阻测量方法以及方块电阻测量装置[发明专利]

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专利名称：方块电阻测量方法以及方块电阻测量装置专利类型：发明专利发明人：韦敏侠,谢佳佳申请号：CN201210093709.1申请日：20120331公开号：CN102621390A公开日：20120801

摘要：本发明提供了一种方块电阻测量方法以及方块电阻测量装置。根据本发明的一种方块电阻测量方法包括：在方块电阻的四边中分别连接第一测试点、第二测试点、第三测试点以及第四测试点；依次设定多个参考电流值；针对所有参考电流值，通过将参考电流值设置为强制电流值来计算方块电阻值，并且记录所计算的方块电阻值；根据所记录的所有方块电阻值判断适合作为强制电流值的参考电流值，并将所述参考电流值设置为最终的强制电流值。

申请人：上海宏力半导造有限公司

地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：郑玮

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