专利名称：控制局部电流以获得均匀电镀厚度的方法和设备专利类型：发明专利
发明人：郑天人,托德·M·福勒,埃贾伊·P·吉里,安顿·尼纳迪克,
布莱森·塞缪尔,黄洸汉
申请号：CN200310101404.1申请日：20031016公开号：CN1506502A公开日：20040623
摘要：本发明公开了一种控制局部电流以获得均匀电镀厚度的方法和设备，其包括步骤：设置一具有阳极的电镀浴；将衬底浸入到电镀浴中，并使其与阳极分离开，衬底构成一阴极。在电镀浴中设置一第二阴极，其位于衬底与阳极之间，靠近衬底表面并与衬底表面分离，第二阴极包括一具有不同尺寸的开孔的丝网筛子部分，这些开孔的尺寸是按照要被电镀的金属器件而设计的。在待电镀器件密度较高的区域附近，第二阴极筛子部分上具有尺寸较大的开孔，而在待电镀器件密度较低的区域附近，开孔的尺寸较小。本发明的方法还包括步骤：在衬底与阳极之间、以及在第二阴极与阳极之间，通过电镀浴通入电流，从而在衬底上电镀出密度不同的金属器件。
申请人：国际商业机器公司
地址：美国纽约州
国籍：US
代理机构：北京市柳沈律师事务所
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