专利名称：微型紫外光源及制备方法专利类型：发明专利发明人：刘文超
申请号：CN202010968815.4申请日：20200915公开号：CN112216597A公开日：20210112
摘要：本发明属于紫外光源技术领域，具体涉及一种微型紫外光源及制备方法。本发明中的微型紫外光源包括依次设置的光窗板、紫外阴极材料层、加速电极层、绝缘间隔体和微型电子源片，绝缘间隔体的中间设有中空腔体，微型电子源片的中部和中空腔体相对应，微型电子源片和加速电极层之间真空设置。通过使用本技术方案中的微型紫外光源，微型电子源片用于产生电子束，由于加速电极层与微型电子源片之间具有很强的正电势差，微型电子源片发射的电子在中空腔体内加速向加速电极层方向移动，具有一定能量的电子穿过加速电极层轰击紫外阴极荧光材料层，从而产生紫外线，紫外线再透过光窗板进入到外界，提高了工作效率。
申请人：天津迈刻微科电子科技有限公司
地址：300191 天津市滨海新区自贸试验区(中心商务区)新华路3699号双创大厦28层2806室
国籍：CN
代理机构：北京辰权知识产权代理有限公司
代理人：何家鹏
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