专利名称：防护罩的表面处理方法及防护罩专利类型：发明专利
发明人：朱春明,高华伟,罗明新申请号：CN201010546461.0申请日：20101116公开号：CN102465248A公开日：20120523
摘要：本发明涉及一种防护罩的表面处理方法，包括成型防护罩步骤，还包括用铝材料对防护罩表面进行熔射处理的步骤。本发明还涉及一种用于半导体金属等离子沉积的防护罩，该防护罩的表面均匀覆盖铝材料层。上述防护罩的表面处理方法和使用该方法处理后的防护罩，在防护罩表面熔射一层铝材，增强了防护罩的吸附能力，且因为铝能承受较大的温差变化，因此能大大降低防护罩表面的金属薄膜脱落至圆片上的几率，改善了产品的良率，提高了生产效率。
申请人：无锡华润上华半导体有限公司,无锡华润上华科技有限公司
地址：214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：何平
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