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基于椭偏光谱仪的石英波片光轴方位探测

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第3 3卷,第1期 2 0 1 3年1月 光谱学与光谱分析 Vo1.33,No.1,pp275—277 Spectroscopy and Spectral Analysis January,2013 基于椭偏光谱仪的石英波片光轴方位探测 张蓓蓓,韩培高 ,付世荣,朱久凯,闫珂柱 山东省激光偏光与信息技术重点实验室,曲阜师范大学激光研究所,山东曲阜273165 摘要波片的光轴方向是波片应用中最重要的参数之一。在椭偏光谱仪透射模式下,利用琼斯矩阵对波 片旋转过程中P和S两方向上位相的变化进行分析,设计了一种判断石英波片光轴方向的新方法。应用此 方法判断光轴方向,具有光路结构简单,检测速度快的特点,且具有很好的实用性。 关键词光谱;波片;光轴;相位差 文献标识码:A DOI:10.3964/j.issn.1000—0593(2013)01—0275—03 中图分类号:0439 引 言 Xelamp Polarizer Sample Analyzing Arm Spectrograp DataAcquisition 随着偏光技术的发展,石英波片作为各类光学仪器的基 本器件,已经被广泛应用。光轴方向是波片的一个重要参 量,波片在使用中必须先确定光轴方向。目前波片光轴方位 的判断方法有多种,例如:相位比较法[】]、相位调制法[ 、 迈克尔逊干涉法[5]、旋转波片法[6]、菲涅尔菱体法[7j、调制 光谱法等。相位比较法和相位调制法只能大概准确方位;迈 Fig.1 The principle of optical path which is used to detect 0p— tical axis direction of quartz crystal by the ellipsometer 为进一步确定此时波片光轴方向为P方向或s方向,需 取出检偏器,调节起偏臂中起偏器起偏方向为45。,旋转波 片,观察波片在P和s两方向上位相差的变化情况,根据相 位差变化情况的不同,判断波片光轴的具体方向。 /——\、 克尔逊干涉法、旋转波片法、菲涅尔菱体法和调制光谱法能 够准确判断光轴方位,但是过程比较麻烦。 基于椭偏光谱仪的水平透射模式,利用琼斯矩阵对波片 旋转过程中P和S两方向上位相差的变化进行分析,设计了 一 种判断石英波片光轴方向的新方法。应用此方法判断光轴 方向,具有光路结构简单,检测速度快的特点,并且具有很 /f 、 、、、、 l、、、 \ 、 . 好的实用性。 1椭偏光谱仪判断石英晶体光轴的原理 图1为椭偏光谱仪探测石英晶体光轴方向的光路结构示 意图。实验采用了法国JobinYvon公司生产的UVISL型的 椭偏光谱仪,在椭偏光谱仪透射模式下,先将起偏臂中起偏 器起偏方向调为0。,即透振方向为竖直方向(P方向),把检 偏器放入光路中,调节其透振方向使光路消光,此时透振方 向为水平(S方向),然后把石英波片放人起偏臂和检偏臂中 间,使光线垂直于石英波片表面入射,旋转波片使光路再次 消光,此时波片光轴方向处于P方向或者S方向。 收稿日期:2012—06—29,修订日期:2012—10-05 Fig.2 The sectional view of indicatrixis in inverse direction of z axis 以P方向为X轴,S方向为 轴,光线传播方向为 轴, 建立坐标系,图2为逆着 轴方向的光率体截面图,y为波 片旋转后光轴与P方向的夹角,光路的琼斯矩阵如下 基金项目:国家自然科学基金项目(11104160),山东省自然科学基金项目(ZR20O9GLO1O)资助 作者简介:张蓓蓓,女,1987年生,曲阜师范大学激光研究所硕士研究生 *通讯联系人 e-mail:741067716@qq.corn e-mail:pghan@foxmail.corn;yankezhu@126.corgi 276 光谱学与光谱分析 第33卷 [ 翰一 co s!?y-sin),7[ 0]・ [ cos!s? oinS,?y 7[coi坩sO-- 。si n07[-1。I7J一 ∞线如图4实线所示( 一y±90。),此时在中心O。位置出现极大 值,即波片光轴为水平方向时,相位差出现极大值,当石英 波片旋转时P和S两方向上的相位差随着旋转角度的增大 而变小。 4 K I(1一 十 +(+0 1 c ∞os2 ,?- sin啦2,7) ee] l(1) 2结果与讨论 cos 27,y sin27,) 其中E和 分别表示通过石英波片后的z和Y方向偏振 的电场强度,K为包含各器件矩阵因子的比例系数,0为起 偏臂中起偏器透振方向与竖直方向的夹角为45。, 为石英 按照图l中的光路,放入检偏器,把波片固定在带刻度 的圆盘上,由SC3OO系列位移台控制箱控制石英波片转动, 波片本身的相位延迟量。 可令 (1+cos27,+sin2y)一a (1一cos27,-sin2),)一b (1一cos27,+sin27,)一C (1+cos27,-sin27,)一d 式(1)可变为 [l i& I] 一 [4一I :c ]+ l [ i]= K[; 辜 ] 可得 bsinw ga一 赢 tv3一再dsin9 dc。tgca— 一 相位差公式如下 a— —arctg 看 一 盯吐lrct r— g  干 面 一] l(2) 其中 一T2hAnd一—_一 360。n (3)Ls) 式中,n为整数, 的取值范围为O。~36O。,石英波片的厚度 为647肚m,所用波长为2.78 eV。 采用的是_8 An一0.014 36—2.631 11 X 10一 +5.624 27×10 一 6.787 25×10 。+4.753 88×10一l ——1.968 09× 1O一 +4.415 64×10 —4.141 35×10— 把已知量代入(3)式可得 ,将 代人式(2)可得,相位差a~ 是以波片光轴与P方向的夹角),为变量的函数,可以利用 matlab作出光轴竖直方向时相位差随y的理论变化曲线。 若石英波片在消光位置时光轴沿P方向,撤掉检偏器, 调节起偏臂中起偏器起偏方向为45。,旋转波片,椭偏仪检 测到的P和s两方向上的位相差将发生变化,7-A理论曲线 如图3实线所示,在中心O。位置时有极小值,即光轴在竖直 方向时P和S两方向上相位差最小,当石英波片旋转时P和 S两方向上的相位差随着旋转角度的增大而变大。 若石英波片在消光位置时光轴沿S方向,撤掉检偏器, 调节起偏臂中起偏器起偏方向为45。,旋转波片, _△理论曲 旋转石英波片至消光位置,然后撤出检偏器,将起偏臂中起 偏器起偏方向调至45。。 左右旋转石英波片,得到7-A曲线,如图3中虚线所示, 曲线显示,在中心o。位置时P和S两方向上的位相差有最小 值,与琼斯矩阵分析的理论曲线整体趋势相符,此情况对应 的是光轴方向为垂直方向。 使石英波片自消光位置开始,顺时针或者逆时针转动 9O。后,以此位置为中心位置左右转动石英波片。得到姚曲 线,如图4中虚线所示,在中心0。位置时P和s两方向上的 位相差有最大值,与琼斯矩阵分析的理论曲线整体趋势相 符,此情况对应的是光轴方向为水平方向。0/Q0焉p腭罾 器Il  。,aug p朋 5 O 5 勰 勰 O 5 O 5 .20-15 —10 .5 0 5 l0 l5 2O %Angl ̄ ̄ Fig.3 Theoretical clllwe and experimental el/lvve of phase difference when optical axis is in vertical direction %Angle/。 Fig.4 Theoretical curve and experimental cUrVE of phase idferencewhen optical axisisin horizontaldirection 从图3和图4理论和实验曲线可以看出,实验曲线和理 论曲线整体相差大约一度,具体的误差是由理论作图时公式 中含有波片厚度和双折射率的值,存在波片厚度测量误差以 及采用双折射率经验公式导致的误差。另外实验室环境温度 的波动也会导致实验曲线的偏移,但实验曲线和理论曲线整 体变化趋势相同。 aJ∞嚣 ^第1期 光谱学与光谱分析 277 此方法利用椭偏光谱仪测量波片旋转过程中P和s两 至P或S方向,顺时针和逆时针旋转石英波片,利用椭偏仪 方向上位相差在光轴水平和垂直方向时分别为极大和极小值 检测P和S两方向上位相差的变化趋势,快速检测波片光轴 的特点,可以实现对波片光轴方向的快速检测,不仅可以用 是位于P或S方向上。此方法具有光路结构简单,易操作的 来判断石英波片的光轴方向,亦适用于其他单轴晶体波片光 特点,可实现对单轴晶体波片光轴方向的快速检测。 轴方向的判断。 3结论 基于椭偏光谱仪的透射模式,利用检偏器调节波片光轴 [1] CHENG Xiao-tian,LI Yin-zhu,LIU Cheng,et al(程笑天,李银柱,刘诚,等).Chinese J.Laser(中国激光),2003,30(7):651 [23 WANG GuFxia,XU Chang-jie,WANG Qing-song(汪桂霞,徐昌杰,王青松).Laser 8L Infrared(激光与红外),2006,36(8):699. [33 Yu Chun-ri(余春日).Laser Technology(激光技术),2003,27(4):383 [43 YAN Ming,GAO Zhi-shan(严明,高志山).J.Optoeletronics・Laser(光电子・激光),2005,16(2):183. [53 REN Hongqiang,WANG Jiu-yang,LOULi—ren,et al(任洪亮,王久扬,楼立人,等).Chinese J.Lasers(中国激光),2008,35(2):249 [63 WANGwei,LIGuo-hua,wUFu-quan,et al(:E伟,李国华,吴福全,等).Chinese J.Lasers(中国激光),2003,30(12):1121. [7] WANG Ji-ming,LI Guo-hua( ̄吉明,李国华).Optical Technique(光学技术),2002,28(3):245,249. [83 SONG Lian-ke,HA0 Dian-zhong(宋连科,郝殿中).Optical Technique(光学技术),2005,31(5):679. Determination of Optical Axis of Quartz wave Plate Based on Spectr0sc0pic Ellipsometer ZHANG Bei-bei,HAN Pei-gao ,FU Shi-rong,ZHU Jiu-kai,YAN Ke-zhu Shandong Provincial Key Laboratory of Laser Polarization and Information Technology,Laser Institute,Qufu Normal Universi ty,Qufu 273165,China Abstract The optical axis is one of the most important parameters in the application of wave plates.In the transmission mode of spectroscopic ellipsometer,taking the advantage of Jones matrix to analyse the phase difference of P and S directions in the process of spinning wave plate,a new method for the determination of optical axis of quartz wave plate was designed.The meth— od has characteristics of simple light path structure and high efficiency in the judging of the optical axis,and this method thus got a good practicability. Keywords Spectrum;Wave plate;Optical axis;Phase difference (Received Jun.29,2012;accepted Oct.5,2012) *Corresponding author 

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