一种压电复合材料表面电极及其制备方法[发明专利]

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专利名称：一种压电复合材料表面电极及其制备方法专利类型：发明专利发明人：朱振业

申请号：CN201510600940.9申请日：20150910公开号：CN105304810A公开日：20160203

摘要：本发明提供了一种压电复合材料表面电极的制备方法，该制备方法包括如下步骤：步骤一、对压电复合材料表面进行研磨；步骤二、对研磨后的压电复合材料表面进行清洗，然后烘干；步骤三、在常温状态下，采用直流磁控溅射工艺在压电复合材料表面先制备出厚度较薄的第一层NiCr合金薄膜材料；步骤四、采用直流磁控溅射工艺在第一层薄膜材料上直接制备第二层Ag薄膜材料。本发明还提供了一种根据以上制备方法制备出来的压电复合材料表面电极。经过显微分析及电学、力学测试表明，压电复合材料表面电极表面光滑、均匀，导电性能好、电阻率较低，附着力能够满足应用需求。

申请人：朱振业

地址：518131 广东省深圳市龙华新区民治街道绿景香颂B2栋15层

国籍：CN

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