专利名称：用于增大电化学沉积速率的方法专利类型：发明专利
发明人：艾里克·J·伯格曼,查尔斯·沙尔博诺,山姆·K·李申请号：CN201610320306.4申请日：20160513公开号：CN106149020A公开日：20161123
摘要：本发明公开了一种用于电化学处理微特征工件的方法，所述方法包括：使所述微特征工件的第一表面与电镀腔室中的电镀电解液接触，其中所述电镀电解液包括至少一种金属离子；使所述电镀电解液从在所述工件的第一端部处的第一电镀电解液入口经过所述工件的中点向在所述工件的第二端部处的第二电镀电解液出口流动；以及将所述至少一种金属离子电化学沉积到所述工件的所述第一表面上。另一种用于电化学处理微特征工件的方法包括：使所述微特征工件的第一表面与电镀电解液接触，所述电镀电解液具有至少一种金属离子；使用加热方法对所述工件的第二表面进行加热；以及将所述至少一种金属离子电化学沉积到所述工件的所述第一表面上。
申请人：应用材料公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司
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