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一种改善太阳能电池片均匀性的磷扩散方法[发明专利]

来源:意榕旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种改善太阳能电池片均匀性的磷扩散方法专利类型:发明专利

发明人:李战辉,李志强,刘谦,王鹏,黄治国申请号:CN201310694365.4申请日:20131218公开号:CN1036999A公开日:20140319

摘要:本发明公开了一种改善太阳能电池片均匀性的磷扩散方法,通过改变氮气流量和压力来改善扩散均匀性,有效地控制其炉管内部气氛场状态及掺杂气体流动速度,从而达到扩散工艺的稳定性及重复性,使得整管均匀性及单片均匀性都得到一定改善,从而电性能得到一定改善。

申请人:上饶光电高科技有限公司

地址:334100 江西省上饶市上饶经济开发区旭日片区

国籍:CN

代理机构:江西省专利事务所

代理人:杨志宇

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