一种串联复合结构双频多振幅压电超声换能器[发明专利]

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专利名称：一种串联复合结构双频多振幅压电超声换能器专利类型：发明专利

发明人：张宏杰,张继昌,黄嘉伟,侯妍妍,黄建,刘梦涛申请号：CN2017113271.0申请日：20171219公开号：CN108176574A公开日：20180619

摘要：本发明公开了一种应用于集成电路芯片热超声引线键合封连工艺的串联复合结构双频、多振幅压电超声换能器。该换能器由两组双端辐射压电振子和两个不同放大倍数的二级机械变幅杆组成，可在60kHz或120kHz频率附近工作，提供三种驱动方式，在相同频率简谐激振信号下，能够获得多种振幅输出，以满足集成电路芯片引线键合工艺的不同需求，提高键合连接效率和可靠性。同时该复合结构超声换能器夹持机构采用圆弧形铰链构成的法兰柔性夹持机构，能够有效降低变幅杆轴向超声波传递过程中，夹持机架扰动力矩对超声波传递效率的影响，提高超声能量的利用率。

申请人：天津工业大学

地址：300387 天津市西青区宾水西道399号

国籍：CN

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