专利名称：一种复杂硅玻璃混合结构圆片的加工方法专利类型：发明专利
发明人：崔万鹏,刘冠东,李灵毓,桂一鸣,高成臣,郝一龙申请号：CN201510023319.0申请日：20150119公开号：CN104649221A公开日：20150527
摘要：本发明公开了一种复杂硅玻璃混合结构晶圆的加工方法。复杂硅玻璃混合结构圆片包括不同形状的硅、玻璃、以及由硅与玻璃混合组成复杂的多维结构。该加工方法包括：在硅圆片上制备硅槽结构；将玻璃圆片之键合；或将玻璃粉填充至硅槽结构当中；采用高温炉热处理；采用化学机械抛光将圆片表面抛光；对于更复杂多层结构，采用以上步骤制备其他圆片；采用静电键合工艺将多个圆片键合或与硅圆片、玻璃圆片叠加键合，实现多层复杂硅玻璃混合结构。该类结构具有机械性能优越、电隔离简单、真空腔体与间隙控制精确、复杂结构易实现、结构可随要求设计的特点；同时该方法与其他微电子工艺兼容，无需担心后续封装的高温、无法电绝缘问题。
申请人：北京大学
地址：100871 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
国籍：CN
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