专利名称：一种离轴光路三维显微形貌测量系统专利类型：发明专利
发明人：马树军,周鹏飞,刘炜华申请号：CN201810919196.2申请日：20180814公开号：CN109029289A公开日：20181218
摘要：本发明的一种离轴光路三维显微形貌测量系统，包括：成像物镜、干涉装置和图像采集装置。干涉装置包括激光光源、分光棱镜、第一反光镜、第二反光镜、微调反光镜和参考物镜。激光光束经第一反光镜射入分光棱镜后输出两束光，第一束光经成像物镜射到样品上，反射光经成像物镜、分光棱镜到达图像采集装置形成物光；第二束光经第二反光镜、参考物镜射入微调反光镜，反射光经参考物镜、第二反光镜和分光棱镜反射到图像采集装置形成参考光，物光和参考光间形成1.52°～7.57°的离轴角以形成离轴干涉，利用图像采集装置记录得到的干涉全息图。本发明通过光路设计克服了传统预放大显微全息光路光波曲率难以调节的困难。整个系统结构紧凑，抗噪能力高。
申请人：东北大学
地址：110169 辽宁省沈阳市浑南区创新路195号
国籍：CN
代理机构：沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：陈曦
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