专利名称：基板处理装置专利类型：实用新型专利发明人：权宁奎,赵珳技申请号：CN201720593402.6申请日：20170525公开号：CN207120113U公开日：20180320
摘要：本实用新型涉及一种基板处理装置，基板处理装置包括：第一研磨部，其对第一基板进行研磨；厚度测定部，其对第一基板的厚度信息进行测定；研磨控制部，其基于第一基板的目标厚度信息和第一基板的研磨后厚度信息间的厚度偏差信息，控制在第一研磨部中对第二基板的研磨，所述第二基板在第一基板之后将要得到处理，据此可得到的有利的效果在于，准确地控制基板的研磨厚度并使得研磨品质提高。
申请人：凯斯科技股份有限公司
地址：韩国京畿道安城市
国籍：KR
代理机构：北京冠和权律师事务所
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